Kamar bersih Kontaminasi Pelepasan muatan Pusat Penerbangan Antariksa Goddard Kurasi sampel ekstraterestrial Kimia lingkungan Pengion udara Back end of line (BEOL) Pengendapan uap kimia Suomi NPP Fabrikasi semikonduktor Pintu udara Proses 5 nm Proses 22 nm Proses 10 nm HEPA Proses 7 nm Proses 14 nm